西南大学教学实验及实训基地设备更新项目-物理学专业实验平台建设

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1. 1、 溅射沉积室 沉积室、连接管道和法兰均采用SUS304不锈钢，材料致密放气量小；前开门结构，有观察窗和挡板，磁控靶安装在下底盘，样品台在上顶板，腔室带防污内衬，可拆卸清洗。 2、真空系统 真空系统 ★1）极限真空度：优于3×10-5Pa (空载经烘烤除气后） 2）恢复真空：从大气抽至6×10-4Pa≤40min（充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气） 3）真空室漏率：关机12小时真空度≤5Pa。（新设备空载） ★4）系统真空检漏漏率：小于5.0×10-10Pa·m3/s；内外表面电解抛光处理。 3、样品台 1）样品台：抽屉式结构可装载最大4英寸基片托（方片尺寸100mm×100mm）可以根据客户样品形状和大小定制样品托。 2）样品台旋转：转速0～30rpm连续可调；步进电机控制，转动平稳。 3）工转机构：采用上驱动，中心悬挂方式，磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置，避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩，使基片受热均匀。 4）样品台加热：采用数字温控仪，进口电阻合金进行加热，加热炉温度：室温～600℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。控温精度±1℃，可分段设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±5℃。 4、磁控溅射靶组件 安装4个磁控溅射靶组件，其中2个靶位可溅射磁性材料（如镍或铁等）。 5、工艺气路 1）3路质量流量计控制的气路，可外接多种气体，其中Ar：500sccm、O2：50sccm、N2：100sccm 精度±1%， 2）前端带电磁截止阀和过滤器，后端配有混气室； 6、溅射电源 1）射频电源：功率500W，频率13.56MHz，全自动匹配； 数量：1套 2）直流溅射电源：最大输出功率：500W；输出电压：0～800V可调 数量：2套 （其中一台直流电源一拖二，切换使用） 7、水路系统 SUS304不锈钢水排，保障循环供水到每个水冷部件；每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态，执行异常报警。 8、软件及其功能（配套控制软件） ★1、投标人提供的成品软件应具有著作版权，成品软件应具有一键式操作功能，并配置多种标准工艺参数包，可以直接调取执行；2、应具有自选参数功能，可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数，系统自动开始抽真空，达到目标真空度后开始加热，达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源，溅射时间以设定的工作参数为准； ▲3、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值，实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制，进而实现多靶轮流溅射和共溅射； ★4、完备的工艺菜单编辑功能，大容量菜单存储空间，满足客户菜单存储需求（大于500个）； 5、具有操作日志记录功能，记录操作者操作时的关键信息。 ▲6、***网+二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容，投标人须提供二维码识别证明材料。 9、工业冷水机 采用微电脑PLC控制，可自动控制整机运行，全功能防错操作系统，电气部分均为国际品牌，保证机器工作稳定，寿命长久。全钛管式水箱蒸发器，防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器，能精确控制水温±1℃，按键式操作，安装简便，静电喷塑外壳，欧化设计，美观大方，外表板采用快速拆装形式。 10、阀门气路单元 11、备品备件 1套 （设备的详细参数见附件）

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