经开区生态环境局关于对天津泰达山河科技有限公司超表面晶圆级光学芯片关键技术研发及产业化项目环境影响报告书（表）拟作出审批决定的公示

建设项目名称

天津泰达山河科技有限公司超表面晶圆级光学芯片关键技术研发及产业化项目

建设单位名称

天津泰达山河科技有限公司

建设地点

天津经济技术开发区西区新兴路以西、新业八街以北

环评文件编制单位名称

天津环科源环保科技有限公司

建设项目概况

该项目拟建设1条超表面晶圆级光学芯片生产线，设计年产A型超表面晶圆60000片（每片晶圆含多个芯片）；通过调整原辅料使用量、生产参数（电压、温度、曝光分辨率等）等，对功能确定的A1、A2型超表面晶圆进行研发，其研发工艺与A型产品生产工艺基本一致，设计年研发A1、A2型超表面晶圆均为25-6000片（每片晶圆含多个芯片），研发周期六年；研发成功后进行产业化生产，设计年产A1、A2型超表面晶圆各6000片（每片晶圆含多个芯片）。

主要环境影响和环境保护对策与措施

大气：

晶圆生产制造厂房北侧顶部设置一套二级活性炭废气处理设施，用于净化镀膜前清洗、刻蚀后清洗、涂胶、烘烤、显影等生产工序产生的有机废气，净化后尾气通过一根25m高排气筒（P1）排放；

晶圆生产制造厂房内Wafer ID设备自配一套滤筒除尘设施，用于净化晶圆刻号工序产生的激光打码烟尘废气，净化后尾气通过一根25m高排气筒（P2）排放；

晶圆生产制造厂房北侧顶部设置一套酸性废气洗涤塔，用于净化镀膜前清洗、刻蚀、刻蚀后清洗、CVD镀膜、平坦化等生产工序产生的酸性废气。其中，刻蚀工序及CVD镀膜工序未完全反应的工业气体（如三氟甲烷、四氟化碳、六氟化硫等）经Etch设备及CVD设备自配的本地系统进行“高温等离子化+水喷淋”处理，处理后产生的酸性废气（主要为氟化物、氮氧化物、硫酸雾、氯化氢、氯气）与镀膜前清洗、刻蚀后清洗、平坦化工序产生的酸性废气一并通过酸性废气洗涤塔净化，净化后尾气通过一根25m高排气筒（P3）排放；

晶圆生产制造厂房北侧顶部设置一套碱性废气洗涤塔，用于净化镀膜前清洗、刻蚀后清洗、平坦化等生产工序产生的碱性废气，净化后尾气通过一根25m高排气筒（P4）排放；

中央动力厂房南侧顶部设置一套二级活性炭废气处理设施，用于净化污水处理站内有机废水处理系统调节池、生化池、污泥池、污泥间等产生的废气，净化后尾气通过一根15m高排气筒（P5）排放；

同时，拟建项目于晶圆生产制造厂房北侧顶部设置1套独立酸性废气洗涤塔，仅用于晶圆生产制造厂内车间一层氯气供应间（Cl2）及毒腐气体供应间（HBr、F2/Ar/Ne等）出现气体泄漏事故情形下的应急处理，分别将事故泄漏情形下的废气处理后通过25m高排气筒（P3）排放，危废间设置一套二级活性炭废气处理设施，并通过一根15m高排气筒（P6）排放，由于危废暂存间内各种危险废物均为吨桶加盖密闭收集，几乎无挥发性废气产生，仅做定性分析。

拟建项目营运期P1排气筒废气污染物TRVOC、非甲烷总烃排放浓度及排放速度均可以满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）表2新建企业排气筒污染物排放限值中“光电子器件”的相应标准限值要求，臭气浓度可满足《恶臭污染物排放标准》(DB12/059-2018)表1中的相应限值要求；P2排气筒废气污染物颗粒物排放浓度及排放速度均可以满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2二级标准相关限值要求；P3排气筒废气污染物硫酸雾、氯化氢、氟化物、氮氧化物、氯气排放浓度及排放速度均可以满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2二级标准相关限值要求；P4排气筒废气污染物氨气排放速度、臭气浓度均可以满足《恶臭污染物排放标准》(DB12/059-2018)表1中的相应限值要求；P5排气筒废气污染物氨气、硫化氢排放速度、臭气浓度均可以满足《恶臭污染物排放标准》(DB12/059-2018)表1中的相应限值要求。

综上，拟建项目排放的废气不会对周边空气质量产生明显不利影响。综上，拟建项目大气环境影响可接受。

废水：

拟建项目产生的废水主要为员工生活污水、洗衣废水、生产工序排污水（一般废水、酸性废水、碱性废水、有机废水、含氟废水、含氨废水、研磨废水、含铬废水）、纯水制备系统排浓水及反冲洗排污水、冷却水塔排污水、工艺机台（本地系统）排污水、酸性废气洗涤塔排污水、碱性废气洗涤塔排污水。

拟建项目位于中央动力厂房南侧新建污水处理站1座，包括4套处理系统：

1套一般废水处理系统（1m3/h），采用“pH调节+混凝+絮凝+沉淀”处理工艺，主要用于处理生产过程中产生的酸性废水、碱性废水、一般废水及碱性废气洗涤塔排污水；

1套含氟废水处理系统（2.5m3/h），采用“pH调节+化学沉淀+混凝+絮凝+沉淀”处理工艺，主要用于处理生产过程中产生的含氟废水、研磨废水、酸性废气洗涤塔排污水及本地系统工艺机台排污水；

1套有机废水处理系统（1m3/h），采用“pH调节+混凝+絮凝+沉淀+A2/O”处理工艺，主要用于处理生产过程中产生的有机废水、含氨废水以及洗衣废水；

1套含铬废水处理系统（1m3/h），采用“pH调节+混凝+絮凝+沉淀+吸附”主要用于处理生产过程中产生的含铬废水，拟建项目生产线产生的含铬废水独立收集及处理，含铬废水处理系统排放口设置一类污染物监控口DW001。

其中生产工序排污水（一般废水、酸性废水、碱性废水、碱性废气洗涤塔排污水）进入一般废水处理系统；生产工序排污水（含氨废水、有机废水）及洗衣废水进入有机废水处理系统；生产工序排污水（含氟废水、研磨废水、酸性废气洗涤塔排污水、工艺机台排污水）进入含氟废水处理系统；生产工序排污水（含铬废水）进入含铬废水处理系统，含铬废水设处理系统设监控排放口DW001。上述废水经处理后与纯水制备系统排浓水及反冲洗排污水、冷却水塔排污水一并进入厂区污水处理站综合废水排放系统（pH回调池+放流池），与经化粪池处理后的生活污水一并通过厂区独立污水总排口DW002***网，***网排入天津经济技术开发区西区污水处理厂集中处理。

拟建项目含铬废水处理系统第一类污染物监控口DW001处总铬排放浓度预测值均能够满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）标准限值；厂区独立废水总排口外排废水中主要污染物的排放浓度预测值均能够满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）及天津市地方标准《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）三级标准要求，能够达标排放。拟建项目全年排水量为39559.51m3/a，则单位产品基准排水量为0.55m3/片产品，满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）基准排水量限值要求，达标排放。***网，最终进入天津经济技术开发区西区污水处理厂处理。

噪声：拟建项目厂界外50m范围内无声环境保护目标，运营期主要噪声源为风机、水泵、空压机、冷水机组及冷却水塔等设备运行噪声。对各类噪声设备选型时，选取低噪声设备，并采取相应的隔声、减振等降噪措施。经预测， 拟建项目主要噪声源采取隔声、减振等降噪措施后，西侧、南侧和北侧厂界处昼间、夜间噪声贡献值能够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准限值要求，东侧厂界处昼间、夜间噪声贡献值能够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）4类标准限值要求，可以实现厂界达标。

固体废物：拟建项目固体废物主要包括一般工业固废、危险废物和生活垃圾。其中一般工业固废主要为废晶圆、废硅、钛靶材、废掩膜版、纯水制备系统废过滤膜、洁净空调系统废滤材、废外包装材料、废滤筒、滤筒除尘灰等，暂存于一般固废暂存间，定期交由一般固废处置利用单位处置；危险废物主要为酸性废液、碱性废液、有机废液、废活性炭、含铬污泥、生化污泥、含氟污泥、废检测样品、废铬靶材、废光刻胶、废显影液、废滤材、含沾染物的废包装桶等，暂存于危废暂存间，定期交由有资质危废处置单位进行处置。

生****城市管理委员会定期清运。

环境风险及防范措施：拟建项目本项目涉及危险物质包括异丙醇、硫酸、盐酸、磷酸、硝酸、刻蚀液（硝酸）、氢氟酸、氨水、氯气、氟氩氖混气（氟气）、溴化氢、三氯化硼、一氧化碳、甲烷、四氯化硅、硅烷、氨气、酸性废液、碱性废液、有机废液等。项目大气环境风险潜势为Ⅲ，地表水风险潜势为Ⅰ，地下水环境风险潜势为Ⅰ，对照《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-2018）风险评价等级划分表，可以确定：大气境风险评价工作等级为二级，地表水、地下水环境风险评价工作等级为简单分析。根据风险预测结果提出大气、地表水及地下水风险防范措施及应急要求，在落实各项事故防范措施、应急措施，制定完备的环境风险应急预案和应急组织结构，保证事故防范措施落实到位的前提下，拟建项目环境风险可防可控。

建设单位开展的公众参与情况

无

公示起止日期

2025年2月17日-2025年2月21日