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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）2026年9月采购意向公开如下：
| 采购单位 | 杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院） |
| 采购项目名称 | 深反应离子刻蚀系统 |
| 预算金额（元） | 3700000.00 |
| 预留中小企业采购份额 | 否 |
| 落实政府采购政策功能情况 | 落实政府采购相关政策 |
| 预计采购时间 | 2026年10月 |
| 采购需求概况 |
标的名称：深反应离子刻蚀系统 数量/单位：1 采购目录：A02052402真空应用设备 需实现的主要功能或者目标：实现大深宽比的垂直沟槽、通孔及腔体结构高精度刻蚀工艺，深宽比不低于20：1，刻蚀速率不低于3 μm/min，适配8英寸标准硅晶圆及碎片样品。 需满足的质量、服务、安全、时限等要求： 产品须满足国家相关标准与技术参数要求。；供应商应结合现场空间开展针对性布局设计与优化，完成产品供货、安装及调试。； （1）系统需提供完备的报警和安全互锁功能。（2）当互锁被触发时，系统需处于报警状态，并带有声音提示。在安全级别较高的互锁条件或自动模式下触发互锁后，工艺需自动终止。互锁功能在手动模式下需同样生效。 |
| 联系人 | 曹志强 |
| 联系电话 | 132****5615 |
| 备注 | / |
杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）
2026年09月24日
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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本公告地址：https://www.anfangzb.com/view/140/xaBn06ABMqitpwL56FcV.html
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