登录
华南先进光电子研究院购买水冷刻蚀样品台、离子束刻蚀机控制器
竞价结果公告(JJ26091814522797)
开始时间：2026-09-18 14:52:27 截止时间：2026-09-21 14:52:27 截止时间已过
成交单位：北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
成交价： 76800.000元
说明：各有关当事人对竞价结果有异议的，可以在竞价结果公告发布之日起3天内通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。
|
采购单位：华南师范大学
|
联系人：******
|
|
E-mail：******
|
联系电话：******
|
|
传真：******
|
联系手机：******
|
|
邮编：******
|
平台联系电话（异议）：******
|
|
项目名称：
华南先进光电子研究院购买水冷刻蚀样品台、离子束刻蚀机控制器
|
竞价编号：JJ26091814522797
|
|
采购类型：货物类
|
开始时间：2026-09-18 14:52:27
|
|
项目预算(元)：87,000.00
|
结束时间：2026-09-21 14:52:27
|
|
质保期及售后要求：按原厂售后服务进行
|
|
|
其他要求：无
|
响应情况
| 资格及商务响应情况 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 项目 | 竞价要求 | 响应情况 | ||
| 资格条件 | 无 | 无 | ||
| 付款方式 | 完成合同约定内容，验收通过并收到发票后15个工作日内，支付100%合同金额。 | 完成合同约定内容，验收通过并收到发票后15个工作日内，支付100%合同金额。 | ||
| 交付时间 | 合同签订后30个工作日内交付 | 合同签订后30个工作日内交付 | ||
| 履约保证金： | 无需履约保证金 | 无需履约保证金 | ||
| 交付地址 | 广东省广州市番****城校区理五栋526 | |||
| 质保期及售后要求 | 按原厂售后服务进行 | 按原厂售后服务进行 | ||
| 其他要求： | 无 | 无 | ||
| 报价情况 | ||||
| 标的名称 | 生产厂商/品牌、型号规格 | 数量 | 响应情况 | 单价（元/%） |
| 离子束刻蚀机控制器 | 北京埃德万斯、IBE-150 | 1.00 | 北京埃德万斯、 IBE-150 | 49300.000元 |
| 水冷刻蚀样品台 | 北京埃德万斯、p150mm | 1.00 | 北京埃德万斯、 p150mm | 27500.000元 |
| 总报价 | 76800.000 元 | |||
| 技术响应 | ||||
| 标的名称 | 技术要求 | 响应情况 | ||
| 离子束刻蚀机控制器 | 离子束刻蚀机控制器：控制模式为全自动+半自动双模式；支持单工艺及多工艺组配方存储；具备操作与运行记录自动追溯功能；集成故障自诊断与报警互锁安全机制；可选配OES终点检测控制信号接入。 | 离子束刻蚀机控制器：控制模式为全自动+半自动双模式；支持单工艺及多工艺组配方存储；具备操作与运行记录自动追溯功能；集成故障自诊断与报警互锁安全机制；可选配OES终点检测控制信号接入。 | ||
| 水冷刻蚀样品台 | 水冷刻蚀样品台：冷却方式为水冷（可选氦冷）；倾角调节范围为±90°双向倾斜；具备面内连续旋转功能；兼容≤Φ100mm（4英寸）样品；工艺中可有效控温（水冷工况下样品表面温度＜100℃） | 水冷刻蚀样品台：冷却方式为水冷（可选氦冷）；倾角调节范围为±90°双向倾斜；具备面内连续旋转功能；兼容≤Φ100mm（4英寸）样品；工艺中可有效控温（水冷工况下样品表面温度＜100℃） | ||
| 附件 | ||||
微信公众号（订阅通知）
本公告地址：https://www.anfangzb.com/view/17634/DJ3UxqABMqitpwL5N75W.html
微信在线客服