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收货地址：广东 广州 广州市天河区
发布时间：2026-10-12 12:46:33
| 商机编号： | 210035195560443 | 联系方式： | |
| 截止时间： | 2026-10-13 | 期望收货期： | |
| 交货期要求： | 价格有效期： | 不限 |
商机详情
| 采购类型 | 标准订单(单次采购) | 询价类型 | 现货/标准品 |
采购清单
| 行号 | 物料名称 | 采购量 | 价格类型 | 是否送样 |
| 1 | 物料编码：2615351 原子级反应真空获取及控制系统,北加州电子, 物料描述：1.确保对接反应腔室后，本底真空＜0.05Torr，真空漏率＜5E-7Pa·L/S； 2.真空管路：腔室抽气端真空管路具有加热功能，加热温度RT-150℃； *3.真空泵：机械泵一套，抽速≥60m3/h，真空泵前级配置热阱，可以加热至500℃，防止前驱体源在管路内冷凝。 4.真空计：全量程皮拉尼真空计1个+工艺薄膜真空计1个，测量范围5E-5Torr-大气压，精度满量程的±1%；***网以及气动隔膜阀； 5.高精度PLC+工控机+沉积自动控制软件组成的控制系统；图像化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数；多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；沉积模式：连续模式、停流模式；人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置 *6.在不大于直径8英寸尺寸的载板或样品台内放置25片2.5cm×2.5cm硅片或碎硅片作为测试片，厂家提供工艺配方，沉积 300 循环氧化铝，膜厚非均匀性NU≤±2%为合格； |
1/套 | 固定价 |
采购要求
| 报价要求 | 需要报含税价、报价需要包含运费、不允许对询价单部分物料报价、不允许供应商报价可改数量 | ||
| 发票要求 | 增值税专票（不限开具方） | 交易方式 | 其他交易方式 |
| 支付方式 | 经营地址 | ||
| 注册资金 | 证照要求 | ||
| 经营模式 | |||
补充说明描述：
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本公告地址：https://www.anfangzb.com/view/22672/rVN0LqEBni4p5U9XpXvf.html
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