武汉工程大学2026年09(至)10月政府采购意向

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

武汉工程大学学科水平创新能力提升设备更新项目（15kW微波等离子体化学气相沉积系统）

采购内容:15kW微波等离子体化学气相沉积系统采购数量:1台主要功能或目标:利用微波能量激发气体产生等离子体，通过化学反应在基底表面沉积高质量薄膜的先进材料制备技术。核心功能在于能够制备高纯度、高均匀性、高结晶质量的薄膜及晶体，尤其适用于制备高品质人造金刚石及多种高性能薄膜材料生长的实验教学与科学研究。
需满足的要求:质量要求：能完成半导体级单晶金刚石外延。配备微波波导传输及阻抗匹配系统，实现微波稳定耦合；反应腔体采用水冷结构，基片台采用水冷设计。配高精度真空计。配高精度流量计及流量控制阀。配红外测温系统，能显示样品温度。安全要求：具备保险装置、报警单元和紧急关机功能，无人值守时间：≥10h。时限要求：120天内完成供货、安装、调试、培训、正常使用。

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2026-10

无