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深圳国际量子研究院PECVD配套特气设备采购项目意向公开
| 采购单位: | 深圳国际量子研究院 |
| 项目名称: | PECVD配套特气设备采购项目 |
| 预算金额（元）: | 950,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 拟为PECVD设备采购配套的二次配系统，主要包括特种气体供应设备（气柜/阀盘）、SS316L EP管道及接头、双套管及负压监控单元、特气泄漏侦测与报警系统，以及大宗气、CDA、冷却水、排风等厂务接口所需管材、阀门、仪表及安装辅材。供应商负责系统设计、设备供应、现场安装、保压氦检等五项测试、调试及竣工资料，满足SEMI S2及实验室安全规范。 |
| 预计采购时间: | 2026-11 |
| 联系人: | 田老师 |
| 联系电话: | 0755-****7970 |
| 备注: | 无 |
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本公告地址：https://www.anfangzb.com/view/684/a0Z3rqABni4p5U9XVj8W.html
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