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| 申购单主题： | 精密调装单元 | ||||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
| 精密调装单元 | 芯明天 | 组合 | 2 | 国内含税价/人民币 | |||
| 售后服务 | 全新，质保1年，发货至用户指定地点 | ||||||
| 规格 | 设备清单（2套共计包含如下设备）： 一、快速偏转镜片，型号：S37.T8SF，数量：2，指标参数：1.运动自由度：θx、θy 2.驱动路数：3 路独立驱动通道 3.标称行程范围（0-120V）：10mrad 4. 转角行程（0~150V）： 13.5° 5.传感类型： SGS 应变式传感 6.闭环分辨率：0.35μrad 7.闭环线性度：0.1% FS 8.闭环重复定位精度：0.02μrad； 二、快速偏转镜-控制器，型号：E70.D3S-L，数量：2，指标参数：1. 3 通道 2.标称模拟输入电压范围：-1.67V～10V 3.单通道放大器带宽：10kHz 4.输出电压纹波：2.2μF 负载下单通道纹波10mV 5.传感适配类型：SGS 应变式传感器 6.传感输出纹波：10mV； 三、压电陶瓷促动器，型号：PSt150/7/20VT14，数量：2，指标参数：1.标称行程（μm±10%）19 2.刚度（N/μm±20%：60 3.推/拉力N1200/200 4.静电容量μF±10%1.8 5.谐振频率（30KHz±20%）：30 6.波特率包含9600、19200、38400、115200； 四、压电陶瓷促动器-控制器，型号：E53.D1S-L，数量：2，指标参数：1.单通道输出 2.模拟输入电压范围：- 1.67V～10V 3.I/O口数量：1，支持EPG.0B.304.HLN 4.放大器带宽：10kHz 5.输出纹波：2.2μF 容性负载条件下10mVpp 6.适配传感类型： SGS 应变式传感器闭环控制； 五、平移台，型号：N56.XY50E，数量：2，指标参数：1.运动自由度：X,Y 2.传感器类型：光栅传感器 3.标称行程范围：50 或 ±25 / 轴 mm 4.速度上限：3 mm/s±20% 5.分辨率：5 nm±20% 6.双向重复定位精度：0.3 μm±20% 7.最大负载（水平方向）：0.4 kg 六、平移台控制器，型号：E53.D2E-J，数量：2，指标参数：1. 控制方式：闭环伺服控制 2. 通道数：2 3. 供电输入电压：24VDC/1A（20~30V） 4. 处理器：32bit 480MHz 5. 压电连接器：DB15 | ||||||
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